Научные разработки РХТУ им. Д. И. Менделеева

4. Информационные продукты, технологии и услуги

АППАРАТНО-ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ ВЕРТИКАЛЬНЫМ МЕТОДОМ БРИДЖМЕНА ПРИ ВВЕДЕНИИ АКСИАЛЬНЫХ НИЗКОЧАСТОТНЫХ ВИБРАЦИЙ В РАСПЛАВ

Область применения и назначение: исследования процесса массопереноса в расплаве при выращивании низкотемпературных кристаллов с визуализацией процесса роста и потоков в расплаве; оптимизация режимов выращивания кристаллов с температурой плавления до 1000ºС при контролируемой паро-газовой (включая парциальные давления паров компонентов) атмосфере в интервале давлений от 0 до 6 атм; получение кристаллов с повышенной равномерностью распределением легирующей примеси по длине и диаметру кристалла и контролируемой нестехиометрией.

Краткое описание и основные технические характеристики: представляет собой компонентную систему, включающую нагревательный узел с многозонной печью с резистивным нагревом; разборную реакторную систему для выращивания кристалла ампульного типа с высокой степенью аксиальной симметрии, работоспособную при температурах вплоть до 1100ºС и избыточных давлениях до 6 атм; систему вертикального перемещения реактора со скоростью от 0 до 35 мм/час с единичным шагом 0,2 мкм; систему вакуумной откачки реактора, напуска и контроля давления газовой среды в холодной части реактора, систему контроля парциальных давлений паров конденсирующихся компонентов методом Ван-Доорна; систему электромагнитного ввода в расплав аксиальных вибраций с частотой от 0 до 100 Гц и амплитудой от 20 до 1500 мкм; систему щелевой лазерной подсветки расплава (для прозрачного варианта печи), используемой для визуализации потоков в низкотемпературных (до 350ºС) расплавах; компьютерную систему управления всеми компонентами установки и программного обеспечения по определению скоростей потоков в расплаве.

Преимущества (замещает ли импортный продукт или технологию):  аппаратно-программный комплекс является уникальным в своем классе оборудования. Ближайшими аналогами являются разработки CVS (coupled vibrational stirring) системы и исследовательского стенда с прозрачной печью без воздействия на расплав. Отличительной особенностью разработки является возможность проведения процесса выращивания как в открытых так и в квазиизолированных термодинамических системах.

Степень освоения: опытный экземпляр.

Правовая защита: отсутствует.

Формы сотрудничества: исследования процессов выращивания кристаллов, требующих однородного легирования и контролируемой нестехиометрии; оптимизация процесса выращивания для получения кристаллов с пониженной плотностью дислокаций.

Представители для контактов: Аветисов Игорь Христофорович, Жариков Евгений Васильевич.

Телефон: (495) 496-61-77.

E-mail: aich@rctu.ru, zharikov@rctu.ru.